Вакумски системи намећу јединствене захтеве за вентиле, а Вентили у вакуумским системима: Водич за типове, стопе цурења и избор објашњава типове, стопе цурења, материјале и правила избора која се примењују. Овај водич покрива вакуумске режиме, породице вентила, заптивање и испитивања која су важна.
Вакумски вентили заптују против унутрашњег атмосферског цурења.
Стопа цурења је изражена у Па.м3/с, до 10-9 за УХВ вентиле са металним заптивкама.
Врсте капија, угао, лептир и лопта служе за различите вакуумске распореде.
Металне заптивке које се могу пећи су неопходне за ултра{0}}висок вакуум.
Испитивање цурења хелијума потврђује специфицирану стопу цурења.
Шта сервис вакуума захтева од вентила
У вакуумској употреби смер цурења је ка унутра: атмосферски ваздух цури у систем кроз било који дефект, контаминирајући процес. Вакум вентил стога мора да заптива против атмосферског притиска споља, што захтева чврсте заптивке, материјале са ниским издвајањем гасова и чисту конструкцију. Вентил такође не сме да зароби запремине које се споро испуштају и мора да преживи печење тамо где систем то захтева.
Вакуумски режими и рад вентила
Груби вакуум (до око 1 Па), високи вакуум (до 10-4 Па) и ултра-високи вакуум (испод 10-7 Па) постављају веома различите захтеве за вентил. Системи грубог и високог вакуума обично користе меке{7}}заптивене вентиле; ултра-високи вакуум захтева метално заптивене вентиле који се могу пећи са изузетно ниским испуштањем гасова. Потребна брзина цурења и температура печења дефинишу дизајн вентила.
Типови вентила за вакуум
Запорни вентили су радни коњ за велике вакуумске отворе, дајући пуну проводљивост када су отворени; угаони вентили и правоугаони вентили-прикладни су за компактне инсталације; лептир и куглични вентили се користе у нижем вакуумском раду. Пнеуматско и соленоидно активирање је уобичајено за аутоматизацију, а ручно или ручно-управљање точком за сервисне вентиле. Сваки тип је доступан са меким или металним заптивкама.
Стопа цурења и заптивање
Стопа цурења је изражена у Па.м3/с или мбар.л/с (и историјски атм.цц/с). Типичан меко-затворени вакуум вентил има брзину цурења испод 10-6 Па.м3/с, док метални-заптивени вентили за УХВ достижу испод 10-9 Па.м3/с. Заптивке су О-прстенови од ФКМ флуороеластомера или других еластомера са ниским издвајањем гасова за умерени вакуум, и заптивке од бакра или других метала за печење УХВ сервиса. Стопа цурења се потврђује испитивањем цурења хелијума.
Материјали и могућност печења
Вакумски вентили су направљени од нерђајућег челика са завршном обрадом са ниским-испуштањем гаса, а заптивке од еластомера ограничавају температуру печења: ФКМ флуороеластомер дозвољава око 150-200 степени Ц, док метални-запечаћени дизајни пеку до 300 степени Ц и више за УХВ. Прирубнице прате ИСО 1609 (КФ/ИСО-К), ЦФ метално заптивене прирубнице за УХВ и АНСИ обрасце за веће величине. Материјал и завршна обрада одређују достижни основни притисак.
Правила селекције
Изаберите вентил према режиму вакуума, величини отвора, захтеву за брзином цурења, могућности печења и активирању. Наведите потребну проводљивост у отвореном положају, дозвољену брзину цурења у Па.м3/с, стандард прирубнице и притисак на страни атмосфере. За процесни вакуум такође важе компатибилност медија и температура.
Често постављана питања
Затварачи, угаони, лептир и куглични вентили са меким или металним заптивкама, изабрани према режиму вакуума и потребној стопи цурења.
Меки{0}}заптивни вентили обично држе испод 10-6 Па.м3/с; метално заптивени УХВ вентили достижу испод 10-9 Па.м3/с, верификовано испитивањем цурења хелијума.
Вентил који издржава загревање до 150-300 степени Ц током печења система, што захтева металне заптивке и материјале са ниским-отпуштањем гаса за ултра-висок вакуум.
Засун отвара пун отвор за максималну проводљивост; угаони вентил окреће проток за 90 степени и одговара компактном распореду.
ИСО 1609 КФ и ИСО{1}}К за вакуумску употребу, ЦФ металне-заптивене прирубнице за УХВ и АНСИ прирубнице за веће величине.
Откривањем цурења хелијума са вентилом затвореним под вакуумом, мерењем сигнала хелијума у односу на специфицирану стопу цурења.