Вакуумски вентил је специјални вентил за капију посебно који се посебно користи у вакуумским или негативним системима притиска. Његов језгро се врти око ултра-високе брзине заптивања и ниске грансе. Принцип и карактеристике рада су следећи:
1. Основна дефиниција
Функционално позиционирање
Користи се у ултра-високом чистом окружењу са вакуумском дипломом мању или једнаку 1 × 10⁻⁶ ПА како би се спречило да се спољни гас продире или унутрашњи материјал од пресвлака и контаминира вакуум шупљине.
Стандард за бртвљење
Стопа цурења је строго контролисана на мање или једнако 1 × 10⁻¹⁰ ПА · м³ / с (Стандард за откривање хелијум цурења), што је далеко већи од обичних индустријских вентила.
2 Кључне структурне карактеристике
Систем за бртвљење
Усвојити алл-метални мехови динамички заптивач (замените традиционалну кутију за пуњење) да бисте елиминисали микро-цурење узроковано покретом стабљике вентила.
Контакт површина између капије и седиште вентила огледало је полирано (РА мања или једнака 0,2 уМ), а заптивни прстен за лепљење златника користи се за постизање лепљења молекуларног нивоа.
Избор материјала
Тело вентила је направљено од 316л ултра-ниског нехрђајућег челика, а површина се смањује електролитичким полирањем (смањење гасне адсорпције).
Мехови су направљени од хастеллои ц-276 и може да издржи веће од или једнака 100.000 наизменичних оптерећења вакуумског атмосфера.
Специјални дизајн
Шупљина вентила је опремљена помоћном испушном луком (КФ16 прирубницом) да би се претходно евакуисала и уравнотежила разлика притиска пре отварања и затварања.
Тип ниске температуре опремљен је течном јакном за хлађење азота како би се спречила висока температура да изазове заптивни материјал да се дефлације.

3. Радни режим
Процес отварања
Прво покрените помоћну вакуумску пумпу за евакуацију вентилске шупљине на исти ниво вакуума као система (за спречавање поремећаја протока ваздуха).
Мехови дивља капију да се вертикално уздиже, а коефицијент проводљивости проводљивости је већи од или једнак 0,95 када је проточни канал потпуно отворен.
Процес затварања
Када падне капије, гранични прекидач се аутоматски активира, а секундарни испушни гас је почео да осигурава да се исцрпи преостали гас у шупљини вентила.
Површина контактне заптивене површине ствара ефекат самотезације под негативним притиском система. Што је већа разлика притиска, чвршће печат.
4. Типични сценарији апликације
Научна истраживачка опрема
Сегментирана изолација цевовода усавршавања честица (као што је Европска организација за нуклеарно истраживање ЛХЦ). Заштитни вентил за усисавање вакума за синхротронски извор зрачења.
Индустријска опрема
Контрола убризгавања реакционог комора за полуводичку машину за превлачење аутомобила.
ВЕЛИКИ ЗА ХИТНИ ИЗОЛАЦИЈСКИ ВЕЛИКИ ЗА СПАЦЕЦРАФТ ТХЕРМАЛ ТЕСТ ТЕСТ ТЕСТО.
Специјално поље
Вакуум изолација првог система за хлађење зида нуклеарног фузионог уређаја (као што је ИТЕР).
Узорак канала за пренос канала заптивање лунарног прашине комора за симулацију прашине.

5. Индикатори перформанси
Опсег температуре: -196 степен (течно хлађење азота) до 450 степени (тип печења на високом температуру).
Опсег пречника: ДН10 Микро вентил до ДН800 Велика вакуумска брава.
Режим рада: ручни погон зупчаника, пнеуматско брзо отварање (време одзива)<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Тачке одржавања
Откривање пропуштања хелијума масене спектрометрије је потребно након сваке 1000 операција, а монтажа Белловс треба заменити ако стопа цурења прелази стандард.
Површина контакта за бртвљење мора бити поново полирана сваких 5 година да би се вратила површинска завршна обрада.
За чишћење је забрањено коришћење ацетона и других органских супстанци за чишћење. Препоручује се хемијско чишћење у плазми.
